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    關于勻膠機的旋轉涂覆技術你了解了嗎?

     發布時間:2020-06-15 點擊量:159
           勻膠機是在高速旋轉的基片上,滴注各類膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上的設備,膜的厚度取決于勻膠機的轉速和溶膠的黏度。
      旋轉涂覆技術所使用的設備是勻膠機。勻膠機有很多種稱謂,英文叫Spin Coater或者Spin Processor,又稱甩膠機、勻膠臺、旋轉涂膠機、旋轉涂膜機、旋轉涂層機、旋轉涂布機、旋轉薄膜機、旋轉涂覆儀、旋轉涂膜儀、勻膜機,總的來說,他們原理都是一樣的,即在高速旋轉的基片上,滴注各類膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數而不同,也和旋轉速度及時間有關。
      從其原理來說,勻膠機有以下兩個特點。
      (1)旋轉速度
      轉速的快慢和控制精度直接關系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標示的轉速和電機的實際轉速誤差很大,對于要求精密涂覆的科研人員來說是無法獲得準確的實驗數據的。目前轉速控制方面有國際認定標準,如美國NIST標準等。
      (2)真空吸附系統
      真空泵一般采用無油泵,即通常說的干泵,因為任何的油污都可能堵塞真空管道,如果真空吸附力降低,會導致基片吸附不住而產生"飛片"的情況,還會讓滴的膠液不慎進入真空管道系統造成完全堵塞。有的勻膠機通過聯動機制,當真空吸附力不夠時不會開始旋轉。這樣可有效避免滴的膠液不慎進入真空管道系統。

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